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发明授权
CN101599425B 一种微机电系统螺线管电感的制备方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 一种微机电系统螺线管电感的制备方法
  • 专利标题（英）： Preparation method of solenoid inductor in micro electro mechanical system (MEMS)
  • 申请号： CN200910082439.2
    申请日： 2009-04-17
  • 公开(公告)号： CN101599425B
    公开(公告)日： 2010-09-29
  • 发明人: 李修函 , 邵际南 , 舒光华
  • 申请人： 北京交通大学
  • 申请人地址： 北京市海淀区西直门外上园村3号
  • 专利权人： 北京交通大学
  • 当前专利权人： 北京交通大学
  • 当前专利权人地址： 北京市海淀区西直门外上园村3号
  • 主分类号： H01L21/02
  • IPC分类号： H01L21/02 ;  H01L21/822 ;  H01F37/00 ;  H01F41/00
一种微机电系统螺线管电感的制备方法
摘要：
本发明公开了一种微机电系统螺线管电感的制备方法，利用MEMS工艺在下衬底上刻蚀出一个槽，然后进行涂胶光刻、电镀或化学镀在下衬底的槽内生长出金属线圈的一半，利用相同的方法在上衬底上的制作出金属线圈的另一半，最后将两半金属线圈对准倒装焊合并成完整的电感。制备出的螺线管电感由上衬底(8)和下衬底(1)、金属线圈(6)、电镀或化学镀用的种子层(4)、连接金属(7)组成，其中上衬底可在电感制作完成后去掉。本发明解决了微系统中螺线管电感制备困难的问题，制备方法简单成本低，并且可与CMOS电路集成，且电感具有较大的电感值和很高的Q值，大大提高了微电感的性能。
摘要（英）：

The invention discloses a preparation method of a solenoid inductor in an MEMS, comprising the following steps: etching a groove on a lower substrate with MEMS technology; manufacturing one half of the metal coil in the groove of the lower substrate by resist coating, electro plating or chemical plating; manufacturing the other half of the metal coil on an upper substrate with the same method; and finally aligning the two halves of the metal coil for flip chip welding and combining into a complete inductor. The prepared solenoid inductor is composed of the upper substrate (8), the lower substrate (1), the metal coil (6), a seed layer (4) which is used for electro plating or chemical plating and connecting metal (7), wherein, the upper substrate can be removed after the manufacturing of the inductor is completed. The invention solves the problem of difficult preparing of the solenoid inductor in a microsystem; the preparation method is simple and the cost is low; the invention can be integrated with CMOS circuits; the inductor has greater inductance value and high Q value, thus greatly improving the performance of the micro inductor.

公开/授权文献
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