发明授权
- 专利标题: 薄膜晶体管阵列基板及其形成方法
- 专利标题(英): Thin-film-transistor array substrate and forming method thereof
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申请号: CN200910142964.9申请日: 2009-05-19
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公开(公告)号: CN101599497B公开(公告)日: 2011-07-06
- 发明人: 钟德镇 , 廖家德
- 申请人: 昆山龙腾光电有限公司
- 申请人地址: 江苏省昆山市龙腾路1号
- 专利权人: 昆山龙腾光电有限公司
- 当前专利权人: 昆山龙腾光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省昆山市龙腾路1号
- 代理机构: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理商 柳春雷; 南霆
- 主分类号: G02F1/1368
- IPC分类号: G02F1/1368 ; H01L27/12 ; H01L23/522 ; H01L21/84 ; H01L21/768
摘要:
本发明涉及薄膜晶体管阵列基板及其形成方法。该阵列基板包括:绝缘基底;第一金属层,位于绝缘基底上方,其第一部分形成TFT的栅极,栅极与扫描线电连接;栅极绝缘层,覆盖在第一金属层和绝缘基底的上方;非晶硅层和第一导电透明材料层,都位于栅极绝缘层上方;掺杂非晶硅层,位于非晶硅层上方,与非晶硅层一起形成TFT的半导体层;第二金属层,位于掺杂非晶硅层及第一导电透明材料层上方,其第一部分形成TFT的源极和漏极,源极与数据线电连接;钝化层,位于第二金属层上方,用作所述绝缘体;第二导电透明材料层,位于钝化层上方,其第一部分形成与漏极电连接的像素电极。其中,第一导电透明材料层形成公共电极的一部分。
公开/授权文献
- CN101599497A 薄膜晶体管阵列基板及其形成方法 公开/授权日:2009-12-09
IPC分类: