薄膜晶体管阵列基板及其形成方法
摘要:
本发明涉及薄膜晶体管阵列基板及其形成方法。该阵列基板包括:绝缘基底;第一金属层,位于绝缘基底上方,其第一部分形成TFT的栅极,栅极与扫描线电连接;栅极绝缘层,覆盖在第一金属层和绝缘基底的上方;非晶硅层和第一导电透明材料层,都位于栅极绝缘层上方;掺杂非晶硅层,位于非晶硅层上方,与非晶硅层一起形成TFT的半导体层;第二金属层,位于掺杂非晶硅层及第一导电透明材料层上方,其第一部分形成TFT的源极和漏极,源极与数据线电连接;钝化层,位于第二金属层上方,用作所述绝缘体;第二导电透明材料层,位于钝化层上方,其第一部分形成与漏极电连接的像素电极。其中,第一导电透明材料层形成公共电极的一部分。
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