- 专利标题: 固化皮膜图案形成用组合物及使用其的固化皮膜图案的制作方法
- 专利标题(英): Composition for forming cured film pattern, and method for producing cured film pattern by using the same
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申请号: CN200880005120.3申请日: 2008-02-06
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公开(公告)号: CN101611353B公开(公告)日: 2012-04-04
- 发明人: 角谷武德 , 宫部英和
- 申请人: 太阳控股株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 太阳控股株式会社
- 当前专利权人: 太阳控股株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 036764/2007 2007.02.16 JP
- 国际申请: PCT/JP2008/051944 2008.02.06
- 国际公布: WO2008/099732 JA 2008.08.21
- 进入国家日期: 2009-08-14
- 主分类号: G03F7/32
- IPC分类号: G03F7/32 ; G03F7/004 ; G03F7/027 ; G03F7/40
摘要:
为了制成可延长主剂与固化剂混合后的适用期(可使用时间),或制成作为一液的保存稳定性优异的组合物,固化皮膜图案形成用组合物由如下物质组合而成:不含热固化催化剂的碱显影型的光固化性热固化性组合物;以及由含氮杂环式化合物构成的热固化反应促进用碱性固化催化剂的水溶液形成的显影液。优选的是,上述碱性固化催化剂为具有脒部位的杂环式化合物。上述光固化性热固化性组合物的皮膜通过活性能量射线照射进行选择性曝光后,用上述显影液显影来除去未曝光部。此时,上述碱性固化催化剂浸透于经光固化的涂膜,并掺杂其中,由此显影图案化特性、热固化性均优异。
公开/授权文献
- CN101611353A 固化皮膜图案形成用组合物及使用其的固化皮膜图案的制作方法 公开/授权日:2009-12-23
IPC分类: