用于改善的机械和热机械性能的焊料凸点互连
摘要:
一种用于包括输入-输出(IO)上凸点结构的半导体封装的设备和方法被披露,其中涉及器件焊盘、凸点下金属焊盘(UBM)、聚合物、及钝化层。从器件焊盘的中央到其外边缘的最短距离与从UBM的中央到其外边缘的最短距离的比值从0.5∶1到0.95∶1。此外,从聚合物的中央到其外边缘的最短距离与从UBM的中央到其外边缘的最短距离的比值从0.35∶1到0.85∶1。此外,从钝化层的中央到其外边缘的最短距离与从UBM的中央到其外边缘的最短距离的比值从0.35∶1到0.80∶1。
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