纳米线或纳米管放电加工微纳三维结构的方法和系统
摘要:
本发明属于微纳制造技术领域,涉及一种纳米线或纳米管放电加工微纳三维结构的方法:(1)将导电性的纳米线或纳米管粘接到钨针尖上;(2)将电极夹持装置置于位移台上,并通过多轴运动控制器对位移台的移动进行控制;(3)将导电材料工件置于X/Y精密位移台上,由多轴运动控制器控制X/Y精密位移台的移动;(4)将脉冲电源的负极接到钨针尖上,其正极接到工件上;(5)利用工控机向多轴运动控制卡发送指令,控制放置有电极夹持装置的位移台,由脉冲电源提供放电加工的工作电压,并由间隙电压检测装置采集放电间隙电压,工控机则根据间隙电压控制电极进给位移台的移动。本发明使放电加工的尺寸达到微米、纳米级,同时解决了加工过程的排屑问题。
0/0