晶体管结构、动态随机存取存储器结构及其制造方法
摘要:
本发明揭示一种晶体管结构、动态随机存取存储器结构及其制造方法。该动态随机存取存储器结构,其有源区域为环形柱体状,具有新颖的垂直式晶体管结构,其栅极填充于环形柱体的中空内部,上下源/漏极分别位于环形柱体的上下部。其埋入式位线位于晶体管结构下方的基底内,其字线是水平配置于栅极上方,其电容结构位于字线及栅极上方,经由一节点接触与上源/漏极电性连接。节点接触具有ㄇ形盖体状,并以ㄇ形盖体状的顶面与电容结构电性连接,及以ㄇ形盖体状的侧边底部与上源/漏极电性连接,字线通过节点接触ㄇ形盖体状的中空处。
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