发明授权
CN101675501B 制造具有局部结合金属的半导体栅极的晶体管的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 制造具有局部结合金属的半导体栅极的晶体管的方法
- 专利标题(英): Method of fabricating a transistor with semiconductor gate combined locally with a metal
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申请号: CN200880002035.1申请日: 2008-01-10
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公开(公告)号: CN101675501B公开(公告)日: 2011-08-17
- 发明人: 马库斯·慕勒 , 格里高利·比达尔
- 申请人: ST微电子(克偌林斯2)SAS公司 , 恩智浦半导体
- 申请人地址: 法国克偌林斯
- 专利权人: ST微电子(克偌林斯2)SAS公司,恩智浦半导体
- 当前专利权人: ST微电子(克偌林斯2)SAS公司,恩智浦半导体
- 当前专利权人地址: 法国克偌林斯
- 代理机构: 北京安信方达知识产权代理有限公司
- 代理商 韩龙; 阎娬斌
- 优先权: 07300721.3 2007.01.11 EP
- 国际申请: PCT/EP2008/050260 2008.01.10
- 国际公布: WO2008/084085 EN 2008.07.17
- 进入国家日期: 2009-07-10
- 主分类号: H01L21/28
- IPC分类号: H01L21/28
摘要:
本发明涉及一种形成场效应晶体管的方法,该场效应晶体包括形成在绝缘层上的栅极(G),在与绝缘层接触的区域中该栅极具有在栅极(G)长度上的半导体中心区域(50)和横向区域(48),该方法包括形成栅极(G),该栅极包括绝缘层部分(32)、形成在绝缘层(32)上方的半导体层部分、和形成在半导体层上方的掩模层部分;执行掩模层部分的蚀刻以便在栅极(G)的中心只留下一部分;和使半导体栅极与沉积在栅极上方的金属起反应。
公开/授权文献
- CN101675501A 制造具有局部结合金属的半导体栅极的晶体管的方法 公开/授权日:2010-03-17
IPC分类: