制造具有局部结合金属的半导体栅极的晶体管的方法
摘要:
本发明涉及一种形成场效应晶体管的方法,该场效应晶体包括形成在绝缘层上的栅极(G),在与绝缘层接触的区域中该栅极具有在栅极(G)长度上的半导体中心区域(50)和横向区域(48),该方法包括形成栅极(G),该栅极包括绝缘层部分(32)、形成在绝缘层(32)上方的半导体层部分、和形成在半导体层上方的掩模层部分;执行掩模层部分的蚀刻以便在栅极(G)的中心只留下一部分;和使半导体栅极与沉积在栅极上方的金属起反应。
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