发明授权
- 专利标题: 夹持装置和物体加载方法
- 专利标题(英): Clamping device and object loading method
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申请号: CN200880021208.4申请日: 2008-06-20
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公开(公告)号: CN101681124B公开(公告)日: 2012-01-11
- 发明人: R·T·P·克姆蓬 , J·H·W·雅各布斯 , M·H·A·李恩德尔斯 , J·J·奥腾斯 , M·F·P·斯密特斯
- 申请人: ASML荷兰有限公司
- 申请人地址: 荷兰维德霍温
- 专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰维德霍温
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王新华
- 优先权: 11/812,818 2007.06.21 US; 60/935,381 2007.08.09 US; 11/896,600 2007.09.04 US; 60/960,578 2007.10.04 US
- 国际申请: PCT/NL2008/050407 2008.06.20
- 国际公布: WO2008/156366 EN 2008.12.24
- 进入国家日期: 2009-12-21
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
本发明涉及一种夹持装置,其配置用以将物体(20,120)夹持在支撑件(1,101)上。夹持装置包括:第一装置,其配置用以采用第一力驱使物体和支撑件彼此离开;和第二装置,其配置用以采用第二力驱使物体和支撑件朝向彼此。第一装置和第二装置配置成在完成物体在支撑件上的夹持之前,同步地分别施加第一力和第二力以将物体成形为所需形状。
公开/授权文献
- CN101681124A 夹持装置和物体加载方法 公开/授权日:2010-03-24
IPC分类: