发明公开
- 专利标题: 具有用于检测热辐射的膜结构的装置、所述装置的制造和使用方法
- 专利标题(英): Device having a membrane structure for detecting thermal radiation, method of production and use of the device
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申请号: CN200880023504.8申请日: 2008-05-28
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公开(公告)号: CN101688810A公开(公告)日: 2010-03-31
- 发明人: 卡斯顿·吉伯乐 , 马堤亚斯·史莱特 , 克里斯堤安·保路斯
- 申请人: 派洛斯有限公司
- 申请人地址: 英国爱丁堡
- 专利权人: 派洛斯有限公司
- 当前专利权人: 派洛斯有限公司
- 当前专利权人地址: 英国爱丁堡
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 许静
- 优先权: 102007024902.2 2007.05.29 DE
- 国际申请: PCT/EP2008/004246 2008.05.28
- 国际公布: WO2008/145353 DE 2008.12.04
- 进入国家日期: 2010-01-05
- 主分类号: G01J5/04
- IPC分类号: G01J5/04 ; G01J5/10 ; G01J5/22
摘要:
本发明涉及一种用于检测热辐射的装置,其包括:至少一个膜,上面安装用于将所述热辐射转换为电信号的至少一个热检测器元件;以及至少一个电路支撑件,其用于承载所述膜且用于承载用于读出所述电信号的至少一个读出电路,所述检测器元件和所述读出电路通过穿过所述膜的电触点电连接在一起。另外,提供一种制造所述装置的方法,其具有以下方法步骤:a)提供具有所述检测器元件的所述膜和至少一个电直通连接,且提供所述电路支撑件,和b)以所述检测器元件和所述读出电路通过穿过所述膜的电触点电连接在一起的方式将所述膜和所述电路支撑件合在一起。更好以晶圆级实施制造活动:将经功能化的硅衬底堆叠在彼此上,彼此稳固地接合,且随后被分割为个别元件。更好地,所述检测器元件包括热电检测器元件。所述装置适用于运动检测器、存在检测器和热成像照相机。
公开/授权文献
- CN101688810B 具有用于检测热辐射的膜结构的装置、所述装置的制造和使用方法 公开/授权日:2013-09-18