涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法
摘要:
本发明公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其用于多面取涂敷设备上,该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器,其中,该自动测量装置包括:滑块,可滑动地设置在横梁上;可伸缩的机械臂,一端固定于滑块上;第二传感器,安装于上述可伸缩的机械臂的另一端,该第二传感器至少具有测量上述ND方向膜厚的第一姿态,以及驱动装置,驱动上述滑块在横梁上滑动,以带动该第二传感器在ND方向移动。本发明还公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法。本发明能解决目前多面取涂层ND方向膜厚不能自动测量的问题,从而减少了对玻璃基板的损伤,并减少了设备的制作成本、节约了工艺动作和时间、提高了生产效率。
公开/授权文献
0/0