发明授权
CN101718541B 涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法
- 专利标题(英): Automatic measuring device and method of coating layer ND direction film thickness
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申请号: CN200810247527.9申请日: 2008-12-30
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公开(公告)号: CN101718541B公开(公告)日: 2011-07-27
- 发明人: 陈超 , 郑彦标 , 王鹏年
- 申请人: 四川虹欧显示器件有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区上地信息路11号
- 专利权人: 四川虹欧显示器件有限公司
- 当前专利权人: 四川虹欧显示器件有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区上地信息路11号
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚
- 主分类号: G01B21/08
- IPC分类号: G01B21/08
摘要:
本发明公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置,其用于多面取涂敷设备上,该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器,其中,该自动测量装置包括:滑块,可滑动地设置在横梁上;可伸缩的机械臂,一端固定于滑块上;第二传感器,安装于上述可伸缩的机械臂的另一端,该第二传感器至少具有测量上述ND方向膜厚的第一姿态,以及驱动装置,驱动上述滑块在横梁上滑动,以带动该第二传感器在ND方向移动。本发明还公开了一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法。本发明能解决目前多面取涂层ND方向膜厚不能自动测量的问题,从而减少了对玻璃基板的损伤,并减少了设备的制作成本、节约了工艺动作和时间、提高了生产效率。
公开/授权文献
- CN101718541A 涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法 公开/授权日:2010-06-02