在SiC衬底上形成的GaN基LED
摘要:
本申请公开了一种发光二极管。该二极管包括:具有第一导电类型的碳化硅衬底(21);位于SiC衬底之上的、导电类型与衬底相同的第一氮化镓层(25);在GaN层(27)上的、由选自GaN、InGaN和AlInGaN的多个交替层重复系列形成的超晶格;位于超晶格上、导电类型与第一GaN层相同的第二GaN层(30);第二GaN层上的多量子阱(31);多量子阱上的第三GaN层;位于第三GaN层(32)上、导电类型与衬底和第一GaN层相反的接触结构;对SiC衬底的欧姆接触;和对接触结构的欧姆接触。
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