发明公开
CN101842678A 用于监控和调整低温冷却的设备和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于监控和调整低温冷却的设备和方法
- 专利标题(英): Apparatus and method for monitoring and regulating cryogenic cooling
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申请号: CN200880114431.3申请日: 2008-08-27
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公开(公告)号: CN101842678A公开(公告)日: 2010-09-22
- 发明人: Z·朱雷克基 , R·E·小诺尔 , J·L·格伦
- 申请人: 气体产品与化学公司
- 申请人地址: 美国宾夕法尼亚州
- 专利权人: 气体产品与化学公司
- 当前专利权人: 气体产品与化学公司
- 当前专利权人地址: 美国宾夕法尼亚州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 谭佐晞; 杨楷
- 优先权: 60/968479 2007.08.28 US
- 国际申请: PCT/US2008/074465 2008.08.27
- 国际公布: WO2009/032689 EN 2009.03.12
- 进入国家日期: 2010-04-27
- 主分类号: G01K13/00
- IPC分类号: G01K13/00
摘要:
一种用于通过测量从低温冷却装置(112)产生的蒸气云(113)的不透明度来监控和/或控制低温冷却的设备和方法。通过测量穿过蒸气云(113)的光束(127)的强度的下降来确定不透明度。不透明度的测量被用来控制系统的操作参数,诸如低温冷却装置(112)的冷却率。不透明度的测量可被归一化以补偿变量,除了工件(119)的温度和冷却率外,该变量是还可影响蒸气云(113)的不透明度的变量。
公开/授权文献
- CN101842678B 用于监控和调整低温冷却的设备和方法 公开/授权日:2012-05-16