用于监控和调整低温冷却的设备和方法

    公开(公告)号:CN101842678A

    公开(公告)日:2010-09-22

    申请号:CN200880114431.3

    申请日:2008-08-27

    IPC分类号: G01K13/00

    摘要: 一种用于通过测量从低温冷却装置(112)产生的蒸气云(113)的不透明度来监控和/或控制低温冷却的设备和方法。通过测量穿过蒸气云(113)的光束(127)的强度的下降来确定不透明度。不透明度的测量被用来控制系统的操作参数,诸如低温冷却装置(112)的冷却率。不透明度的测量可被归一化以补偿变量,除了工件(119)的温度和冷却率外,该变量是还可影响蒸气云(113)的不透明度的变量。

    用于监控和调整低温冷却的设备和方法

    公开(公告)号:CN101842678B

    公开(公告)日:2012-05-16

    申请号:CN200880114431.3

    申请日:2008-08-27

    IPC分类号: G01K13/00

    摘要: 一种用于通过测量从低温冷却装置(112)产生的蒸气云(113)的不透明度来监控和/或控制低温冷却的设备和方法。通过测量穿过蒸气云(113)的光束(127)的强度的下降来确定不透明度。不透明度的测量被用来控制系统的操作参数,诸如低温冷却装置(112)的冷却率。不透明度的测量可被归一化以补偿变量,除了工件(119)的温度和冷却率外,该变量是还可影响蒸气云(113)的不透明度的变量。