发明公开
- 专利标题: 反向导通绝缘栅双极晶体管和对应制造方法
- 专利标题(英): Reverse-conducting insulated gate bipolar transistor and corresponding manufacturing method
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申请号: CN200880116904.3申请日: 2008-11-06
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公开(公告)号: CN101861651A公开(公告)日: 2010-10-13
- 发明人: M·拉希摩 , J·沃贝基 , A·科普塔
- 申请人: ABB技术有限公司
- 申请人地址: 瑞士苏黎世
- 专利权人: ABB技术有限公司
- 当前专利权人: 日立能源瑞士股份公司
- 当前专利权人地址: 瑞士苏黎世
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 朱海煜; 徐予红
- 优先权: 07120665.0 2007.11.14 EP
- 国际申请: PCT/EP2008/065030 2008.11.06
- 国际公布: WO2009/062876 EN 2009.05.22
- 进入国家日期: 2010-05-14
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/10 ; H01L29/32 ; H01L21/331 ; H01L21/263
摘要:
用于制造反向导通绝缘栅双极晶体管的方法包括下列步骤:在具有第一侧和与第一侧相对的第二侧的第一导电类型的晶圆上,第二导电类型的第二层和至少一个第一导电类型的第三层(其被第二层环绕)在第一侧上形成。晶圆的在完成的RC-IGBT中具有未修改的掺杂的那部分构成第一层。随后第五电绝缘层在第一侧上形成,其部分覆盖至少一个第三层、第二层和第一层。导电第四层在第一侧上形成,其通过第五层与晶圆电绝缘。至少一个第三层、第四层和第五层采用这样的方式形成使得它们在第二层上使第一开口形成。第一电接触在第一侧上形成,其与第二层和第三层直接电接触。至少一个第二导电类型的第六层和至少一个第一导电类型的第七层在第二侧上形成。至少一个第六和第七层交替设置在平面中。第二电接触在第二侧上形成,其与至少一个第六和第七层直接电接触。在第四和第五层形成后形成为缺陷层的第九层通过在第一侧上使用至少第四和第五层作为第一掩模通过第一开口离子注入而形成。
公开/授权文献
- CN101861651B 反向导通绝缘栅双极晶体管和对应制造方法 公开/授权日:2016-06-01
IPC分类: