反向导通绝缘栅双极晶体管和对应制造方法
摘要:
用于制造反向导通绝缘栅双极晶体管的方法包括下列步骤:在具有第一侧和与第一侧相对的第二侧的第一导电类型的晶圆上,第二导电类型的第二层和至少一个第一导电类型的第三层(其被第二层环绕)在第一侧上形成。晶圆的在完成的RC-IGBT中具有未修改的掺杂的那部分构成第一层。随后第五电绝缘层在第一侧上形成,其部分覆盖至少一个第三层、第二层和第一层。导电第四层在第一侧上形成,其通过第五层与晶圆电绝缘。至少一个第三层、第四层和第五层采用这样的方式形成使得它们在第二层上使第一开口形成。第一电接触在第一侧上形成,其与第二层和第三层直接电接触。至少一个第二导电类型的第六层和至少一个第一导电类型的第七层在第二侧上形成。至少一个第六和第七层交替设置在平面中。第二电接触在第二侧上形成,其与至少一个第六和第七层直接电接触。在第四和第五层形成后形成为缺陷层的第九层通过在第一侧上使用至少第四和第五层作为第一掩模通过第一开口离子注入而形成。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/739 .....受场效应控制的
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