基于激光器的LED大面积可控表面粗化及刻蚀方法
摘要:
基于激光器的LED大面积可控表面粗化及刻蚀方法,属于发光二极管技术领域。本发明此方法利用半导体材料对于波长小于其带边吸收波长的大功率激光强吸收发生气化,实现对LED表面半导体材料的表面粗化。高速振镜或者精密位移台控制激光加工的区域及加工图形;控制激光的功率和聚焦程度调节加工的线宽和深度。本发明可应用于各种结构的GaAs基LED、GaN基LED表面粗化及刻蚀。激光器选用以波长小于被加工半导体带边吸收波长为准。具有适用材料广,加工速度快、面积大,成本低,粗化效果好,对半导体材料损伤小,系统的加工参数可控性高等优势,可有效解决p-GaN层粗化这一难题,在高亮度LED生产中具有很大的应用潜力。
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