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公开(公告)号:CN111755943B
公开(公告)日:2022-05-31
申请号:CN202010681980.1
申请日:2020-07-15
IPC: H01S3/108 , H01S3/115 , H01S3/117 , H01S3/0941
Abstract: 本发明公开了一种基于脉冲激光器泵浦的光学参量振荡器及工作方法,包括:依次设置的半导体泵浦源、耦合透镜、平面输入镜、激光晶体、电光调制单元、凹面输出镜、第一半波片、隔离器、第二半波片、凸透镜、OPO平面输入镜、PPLN晶体以及OPO平面输出镜;半导体泵浦源产生的泵浦光经过耦合透镜和平面输入镜聚焦到激光晶体上,输出激光经过电光调制单元产生脉冲激光,所述脉冲激光经过凹面输出镜输出,经过第一半波片、隔离器和第二半波片,使偏振方向与PPLN晶体达到最佳相位匹配;输出的偏振激光经过凸透镜进入PPLN晶体,在小于100℃的温度下产生3.8μm波段激光。本发明可以在室温下实现简并点波长输出。
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公开(公告)号:CN113036597A
公开(公告)日:2021-06-25
申请号:CN202110245362.7
申请日:2021-03-05
IPC: H01S5/065 , H01S5/02253 , H01S5/02255
Abstract: 本发明涉及全固态中红外激光技术领域,具体涉及一种锁模超快中红外激光器及其工作方法和应用,尤其涉及一种基于GaInSb/GaSb量子阱SESAM锁模的2μm倍半氧化物超短脉冲激光器及工作方法。泵浦源、平面输入镜、倍半氧化物晶体、第一凹面全反镜、第一色散补偿镜、第二色散补偿镜、平面输出镜、第二凹面全反镜、GaInSb/GaSb量子阱SESAM依次放置,使得入射光路和反射光路夹角为0~5°。这样设计可以实现2μm倍半氧化物晶体稳定的低阈值锁模运转,使该激光器具有锁模操作简单、热不灵敏性好、受外界干扰小、长时间工作稳定性高等优势。
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公开(公告)号:CN117283152A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202311040318.8
申请日:2023-08-17
Applicant: 山东大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/06 , B23K26/70 , B23K26/067 , B23K101/40
Abstract: 本发明公开一种高效率激光切割碳化硅晶锭的方法及装置,涉及半导体材料激光加工技术和装备技术领域。包括将脉冲激光进行分束,第一束作为改质激光,第二束经过频率变换后作为加热激光;将改质激光与加热激光进行相位延迟和合术,实现改质激光与加热激光同轴同步加工SiC晶锭;改质激光聚焦在SiC晶锭内部进行改质加工,形成改质部与裂纹区;加热激光聚焦在SiC晶锭内部以加热的方式施加热应力,调控裂纹扩展;控制SiC晶锭与激光脉冲的相对移动,按设定路径进行扫描加工,形成改质层与裂纹连结层;以改质层和裂纹连结层为界面,将SiC晶锭的一部分剥离得到晶片。本发明实现了改质激光和加热激光与SiC晶锭的同时空作用,降低了加工耗时、晶圆剥离难度,提高了剥离质量。
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公开(公告)号:CN116551195A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202210108573.0
申请日:2022-01-28
Applicant: 山东大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/046
Abstract: 本发明提供一种飞秒涡旋激光加工装置及方法,涉及飞秒激光加工领域,包括夹具、聚焦机构、调整机构和用于输出涡旋激光的激光器,激光器输出端朝向调整机构输入端,调整机构输出端朝向聚焦机构输入端,聚焦机构输出端与夹具之间设有涡旋线状的加工区;夹具连接有驱动机构,驱动机构能够带动夹具沿加工区轴向往复移动;针对目前工件利用激光进行表面处理时效率较低且精度不易控制的问题,利用涡旋激光进行圆柱状工件的表面处理,将涡旋激光进行准直、聚焦后形成涡旋线状的加工区,工件套设在加工区内进行轴向移动,利用涡旋线状的涡旋激光对外圆周表面的毛刺等结构进行刮除,从而达到表面整平的作用,提高工件材料表面质量。
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公开(公告)号:CN110424054B
公开(公告)日:2021-09-28
申请号:CN201910826293.1
申请日:2019-09-03
Applicant: 山东大学
Abstract: 一种二维层状GeP单晶纳米薄膜的制备方法及应用,制备步骤:(1)称取Ge、P和Bi装入石英管中并封管;(2)使Ge和P化合反应;(3)将石英管离心分离,得到GeP体块单晶;(4)GeP体块单晶置于稀盐酸中并清洗干净;(5)放入装有无水乙醇的离心管中超声处理,得到乙醇悬浊液;(6)离心处理;(7)取出上清液,用乙醇进行稀释,得到GeP纳米薄膜的稀溶液。制备的二维层状GeP单晶纳米薄膜用于饱和吸收体对激光进行被动调Q或锁模调制及制作光子或光电子器件、催化及锂电池负极材料。本发明生长了大尺寸、高质量GeP体块单晶,制备的GeP纳米薄膜为直接带隙半导体,采用单纯的GeP实现调Q和锁模激光,在1‑3μm红外宽波段获得了更高的脉冲峰值功率和脉冲能量。
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公开(公告)号:CN110424054A
公开(公告)日:2019-11-08
申请号:CN201910826293.1
申请日:2019-09-03
Applicant: 山东大学
Abstract: 一种二维层状GeP单晶纳米薄膜的制备方法及应用,制备步骤:(1)称取Ge、P和Bi装入石英管中并封管;(2)使Ge和P化合反应;(3)将石英管离心分离,得到GeP体块单晶;(4)GeP体块单晶置于稀盐酸中并清洗干净;(5)放入装有无水乙醇的离心管中超声处理,得到乙醇悬浊液;(6)离心处理;(7)取出上清液,用乙醇进行稀释,得到GeP纳米薄膜的稀溶液。制备的二维层状GeP单晶纳米薄膜用于饱和吸收体对激光进行被动调Q或锁模调制及制作光子或光电子器件、催化及锂电池负极材料。本发明生长了大尺寸、高质量GeP体块单晶,制备的GeP纳米薄膜为直接带隙半导体,采用单纯的GeP实现调Q和锁模激光,在1-3μm红外宽波段获得了更高的脉冲峰值功率和脉冲能量。
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公开(公告)号:CN105186273B
公开(公告)日:2018-03-09
申请号:CN201510589746.5
申请日:2015-09-16
Applicant: 山东大学
IPC: H01S3/0915 , H01S3/081
Abstract: 一种双端面泵浦光参量振荡器,属光参量振荡器技术领域,包括激光泵浦源等,其特征在于激光泵浦源之后放置分束镜,分束镜将泵浦光分为二路光路,分别经各自光路将两路光束从谐振腔的前后两端入射到谐振腔内,形成双端面泵浦光参量振荡器;产生的参量光从输出端的光谐振腔镜输出。本发明采用双端泵浦方式,有效地克服了单端泵浦过程中晶体破坏阈值低对激光泵浦功率的限制,同时可以缓解光参量振荡器的热效应,并通过谐振腔的合理设计实现良好的腔模匹配,从而获得大功率高光束质量的光参量激光输出。
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公开(公告)号:CN103633544B
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201310625979.7
申请日:2013-11-28
Applicant: 山东大学
Abstract: 基于多通道光学超晶格的多波长可调谐激光器,属非线性激光技术领域,包括泵浦源激光器、光束整形系统等,该激光器是通过将泵浦源出射的光偏振分束为多束偏振光,分束后的多束偏振光进行转换聚焦后,共同入射到多通道光参量谐振腔中,产生多波长可调谐的中红外相干光。本发明可以有效地提高泵浦光的能量利用率,且可以同时产生多波长相干光,具体的波长的数量取决于偏振分束的光束数量与一块光学超晶格晶体上的通道数数量,波长的范围和具体数值取决于泵浦光和光学超晶格的周期,这些共同输出的波长可同时进行温度调谐。
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公开(公告)号:CN117458254A
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202311395229.5
申请日:2023-10-25
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明属于全固态激光技术领域,具体涉及一种基于Tm3+掺杂晶体的三波长中红外固体激光器及工作方法。所述三波长中红外固体激光器具有连续工作模式和脉冲工作模式,所述三波长中红外固体激光器包括沿光路布置的泵浦激光器、光束准直聚焦系统、谐振腔和二向色镜;当所述三波长中红外固体激光器处于脉冲工作模式时,于谐振腔中设置电光调Q系统。基于Tm3+离子3F4→3H6、3H4→3H5以及3H5→3F4三能级之间的跃迁,利用~1.9μm、~2.3μm以及~3.8μm级联激光振荡的能级调控手段,能够有效提高量子效率,降低激光晶体热效应,实现三波长的中红外连续和脉冲激光高效运转。本发明可利用一台激光器同时灵敏监测多种气体,具有结构紧凑、价格低廉的优势,能够极大地促进气体检测技术的发展。
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公开(公告)号:CN115332919A
公开(公告)日:2022-11-11
申请号:CN202211039745.X
申请日:2022-08-29
Applicant: 山东大学
IPC: H01S3/06 , H01S3/081 , H01S3/0941 , H01S3/098 , H01S3/11
Abstract: 本发明属于全固态激光领域,提供了一种晶体串联振荡锁模激光器及其工作方法,包括第一光路和第二光路,其中,所述第一光路上依次布设第一泵浦源、第一聚焦耦合系统、输入镜以及第一激光晶体;所述第二光路上依次布设第二泵浦源、第二聚焦耦合系统以及二向色镜、第二激光晶体以及第一折叠镜;所述第一光路的垂直于第二光路;所述第一折叠镜改变第二光路的传输方向反射到第二聚焦耦合系统下方的输出镜上;所述第一折叠镜的下方还设置有第二折叠镜;所述第二折叠镜的左下方还有锁模元件。通过两台半导体激光器泵浦两块增益晶体,成功实现全固态晶体串联振荡锁模脉冲激光输出,晶体串联振荡锁模适应多种增益晶体,实现多种波长锁模脉冲激光输出。
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