发明公开
CN101868428A 玻璃基板的蚀刻处理方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 玻璃基板的蚀刻处理方法
- 专利标题(英): Method for etching glass substrate
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申请号: CN200880116763.5申请日: 2008-11-14
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公开(公告)号: CN101868428A公开(公告)日: 2010-10-20
- 发明人: 西条佳孝 , 铃木祐一 , 秋山良司 , 竹中敦义 , 加濑准一郎
- 申请人: 旭硝子株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 旭硝子株式会社
- 当前专利权人: 旭硝子株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王海川; 穆德骏
- 优先权: 2007-299066 2007.11.19 JP
- 国际申请: PCT/JP2008/070813 2008.11.14
- 国际公布: WO2009/066624 JA 2009.05.28
- 进入国家日期: 2010-05-19
- 主分类号: C03C15/00
- IPC分类号: C03C15/00 ; G02F1/13 ; G02F1/1333
摘要:
本发明提供以玻璃基板的薄板化为目的、蚀刻速度高并且可以抑制在玻璃基板表面产生雾度的蚀刻处理方法。本发明涉及一种玻璃基板表面的蚀刻处理方法,以1~690μm的蚀刻量对玻璃基板表面进行蚀刻处理,其特征在于,所述蚀刻处理通过HF浓度为1~5重量%、HCl浓度为1重量%以上的蚀刻液进行。