无碱玻璃基板的蚀刻方法及显示装置

    公开(公告)号:CN102076625A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200980124716.X

    申请日:2009-06-19

    IPC分类号: C03C15/00 G02F1/1333

    CPC分类号: C03C15/00

    摘要: 本发明涉及一种蚀刻方法,对含有选自由Ca、Sr、Ba和Mg组成的组中的一种以上金属的无碱玻璃基板的表面进行蚀刻,其中,使用HF和HCl满足式(A)HF:5质量%以上且低于20质量%,并且HCl:9质量%以上、式(B)HF:20质量%以上且低于30质量%,并且HCl:5质量%以上或式(C)HF:30质量%以上,并且HCl:2质量%以上的条件、并且不含NH4F的蚀刻液,对所述无碱玻璃基板的表面进行蚀刻。