蒸镀腔体及具有该蒸镀腔体的蒸镀装置
摘要:
本发明公开了一种蒸镀腔体,包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板,底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔,侧板开有基板传送口以及维修口,至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板,弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板,沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板,沿中侧板向下延伸形成下侧板,下侧板与所述底板密封连接,蒸镀腔体包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体,基板传送口位于所述上腔体上,维修口自中腔体开设至下腔体。本发明蒸镀腔体强度高,成本低并且轻便;另,本发明还提供了一种具有该蒸镀腔体的蒸镀装置。
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