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公开(公告)号：CN103409725A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310192574.9
申请日：2013-05-22
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开一种旋转异形靶阴极机构，其靶管绕磁钢部件相对旋转，带动整个的靶材沿固定的磁场做持续旋转，因此，让所有的靶材表面都得到均匀的刻蚀，从而大大提高了阴极靶材的利用率，且靶材呈异形靶面结构，保证靶材的最终刻蚀厚度一致，进一步提高阴极靶材的利用率；由此延长了更换靶材的周期，提高了整条生产线连续溅射生产的产能；采用旋转阴极靶材设置，解决了平面阴极在连续镀膜中的掉渣及打弧问题，保持溅镀工艺稳定，提高镀膜质量；而磁钢部件相对于竖直方向偏离设置，使溅射到内壁的靶材较少，保持设备的高清洁度，且清洁维护简洁，且该旋转异形靶阴极机构的结构简单。本发明还公开一种具有旋转异形靶阴极机构的磁控溅射镀膜装置。
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公开(公告)号：CN102175153B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201110054469.X
申请日：2011-03-08
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种激光光束聚焦焦斑检测系统，用于检测激光光束通过光学机构后在工件上的聚焦变化，其包括挡板、平凸柱面透镜、相机、监视器及依次排列且中心均位于第一光轴上的激光器、偏振分光棱镜、四分之一波片、对物透镜，挡板设于偏振分光棱镜与激光器之间并将圆形的线性偏振激光光束阻挡成为半圆形的线性偏振激光光束，对物透镜正对工件，偏振分光棱镜、平凸柱面透镜与相机的镜面的中心均位于与第一光轴正交的第二光轴上，平凸柱面透镜的凸面正对相机的镜面，监视器与相机连接并显示图像。本发明的激光光束聚焦焦斑检测系统结构合理、操作简便、精度高、成像清晰且能将激光焦斑的位置变化直观地显示。
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公开(公告)号：CN101875478B
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201010131871.9
申请日：2010-03-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开了一种自动升降系统，包括电连接的控制装置、受控于所述控制装置的驱动装置以及升降装置。升降装置与外部工作台连接，控制装置驱动该驱动装置从而使升降装置带动外部工作台进行直线往复运动。其中，该升降装置包括第一固定板、第二固定板、活动板、丝杠、丝杠螺母以及支撑柱。活动板设置于第一固定板及第二固定板之间，驱动装置固定于第一固定板上，丝杠螺母穿设并固定于活动板上，丝杠的一端穿过第一固定板并与驱动装置连接，另一端穿过丝杠螺母后连接于第二固定板上。支撑柱的一端固定于活动板上，另一端穿过第二固定板并凸伸于第二固定板之上，以与外部工作台连接。本发明运动精度高、可靠性高、低噪音、低污染且结构简单。
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公开(公告)号：CN102126612B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201110020909.X
申请日：2011-01-18
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明公开一种位置校正装置，适用于对有机发光二极管行业中的玻璃基片进行位置调整，所述位置校正装置包括电机、支撑机构以及至少四个校正机构，所述支撑机构包括底板、升降组件以及支撑板，所述升降组件安装在所述底板上，所述支撑板安装在所述升降组件上并适用于承载所述玻璃基片，所述校正机构安装在所述底板上并均匀地分布于所述玻璃基片的周边，所述电机控制所述升降组件带动所述支撑板做升降运动，所述电机控制所述校正机构调整所述玻璃基片的水平位置。
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公开(公告)号：CN103057247A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201310004526.2
申请日：2013-01-07
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: B32B43/00
Abstract: 本发明公开了一种铝带自动校正装置，包括铝带压紧机构及铝带校正机构。铝带压紧机构包含第一压紧直线驱动器及压紧件，铝带校正机构包含第一校正直线驱动器、第二校正直线驱动器、第一固定板、第一和第二校正件；第一压紧直线驱动器及第一校正直线驱动器均沿竖直方向装在机架上，压紧件连接于第一压紧直线驱动器的输出端，第一固定板连接于第一校正直线驱动器的输出端，第二校正直线驱动器沿水平面的前后方向装在第一固定板，第一校正件安装在第二校正直线驱动器的输出端，第二校正件对应地安装在第一固定板上，且第一校正件与第二校正件之间形成一供铝带校正用的校正区。本发明的铝带自动校正装置能提高铝带校正效率及精度，并适合自动化的场合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102034725B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201010502641.9
申请日：2010-09-30
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种基片自动对位上载装置，用于真空环境下上载基片，该基片自动对位上载装置包括真空腔体、夹持机构，及位于所述真空腔体内的夹持输送机构、夹持升降机构、基片输送机构、基片升降机构和基片对位机构，所述夹持机构用于夹持基片，所述夹持输送机构带动夹持机构沿水平方向输入输出真空腔体，所述夹持升降机构驱动夹持机构做升降运动，所述基片输送机构带动基片沿水平方向输入真空腔体，所述基片升降机构驱动基片做升降运动，所述基片对位机构调整基片在水平方向上的位置。该基片自动对位上载装置可保证基片上载的整个过程中腔体内一直维持在稳定的真空状态下，且安全、洁净、对位可靠。
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公开(公告)号：CN102103819B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201010568419.9
申请日：2010-12-01
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: G09G3/00 , H01L21/687 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开一种平板显示器检测定位夹紧装置，包括PCB板、支座、把手、连接板、旋转板、伸缩杆、及橡胶条，支座固于PCB板上，把手具有向上弯折形成的把手铰接部，旋转板具有向下弯形成的旋转连接部，连接板的左端与把手铰接部的下端铰接，连接板的右端与支座的右端铰接，旋转连接部的下端与支座的左端铰接，旋转连接部的上端与把手铰接部的上端铰接，旋转板的自由端凸伸出支座且悬置于PCB板上方，旋转板的自由端上开有通孔，伸缩杆的上端滑动的穿过通孔并卡于通孔内，伸缩杆的下端凸设有呈弹性的橡胶条，橡胶条与PCB板之间形成夹持区。该装置实现平板显示器检测的快速定位固定及夹紧动作并保证平板显示器件电路引脚接触良好。
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公开(公告)号：CN102189087B
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201110084128.7
申请日：2011-04-02
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种喷淋式洗边设备，包括水平底板、驱动装置及若干清洗装置。水平底板具有平板固定座；清洗装置呈分布于平板四周的设于水平底板上，其包括滑动架及装于滑动架上的喷淋装置，喷淋装置开设有通槽，通槽的内壁上、下侧均分布有与外界清洗液连通的喷头形成清洗区，支撑于平板固定座上的平板的边缘呈悬空的伸入清洗区内；驱动装置包括驱动组件及传送件，传送件呈转动的环绕于平板的外围并与滑动架固定，驱动组件驱动传送件转动，转动的传送件通过滑动架带动喷淋装置内的喷头沿平板的边缘移动进而清洗平板的边缘。本发明能同步地对平板的各个边缘进行清洗，极大限度地提高清洗效率，同时，本发明还具有结构简单和清洗成本低廉的优点。
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公开(公告)号：CN101736294B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200910215555.7
申请日：2009-12-23
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
Abstract: 本发明提供了一种蒸发舟夹紧装置，适用于对真空镀膜设备中的蒸发舟进行导电及夹紧，其包括电极件及压紧件。电极件开设有定位槽，蒸发舟的安装端收容于定位槽内，压紧件与电极件枢接并抵压于收容于定位槽内的蒸发舟的安装端上。由于本发明的压紧件与电极件枢接并抵压于蒸发舟的安装端上，当需更换蒸发舟时，仅需扳动压紧件即可，因而使得蒸发舟更换方便、快速且简单。同时，由于本发明的电极件开设有定位槽，使得蒸发舟的安装端能快速、准确地在电极件上定位，并借助本发明的压紧件对蒸发舟安装端的抵压，从而使定位于电极件上的蒸发舟被夹紧于压紧件与电极件之间，因而有效地阻止蒸发舟的偏移，使蒸发舟与电极件接触良好，从而延长了蒸发舟寿命。
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公开(公告)号：CN102709488A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210011149.0
申请日：2012-01-13
Applicant: 东莞宏威数码机械有限公司
IPC: H01L51/56 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开一种基板传输机构，对承载于多个平台的玻璃基板进行传输，包括机架、竖直驱动机构、水平驱动机构及承载台，所述承载台可承载所述玻璃基板，且包括若干承载区，所述承载区与所述平台对应，所述水平驱动机构安装于所述竖直驱动机构上，并且驱动所述承载台水平来回移动，所述水平驱动机构的驱动行程与所述承载区的长度相等，所述竖直驱动机构驱动所述水平驱动机构上下移动，所述竖直驱动机构安装于所述机架上，所述竖直驱动机构在竖直方向移动一个行程后再由所述水平驱动机构在水平方向移动一个行程，进而交替地驱动所述承载台。本发明基板传输机构控制容易，结构简单，维护方便，传动稳定、可靠。
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