晶片中心定位装置
Abstract:
本发明提供了一种晶片中心定位装置,涉及半导体专用设备晶片中心定位装置技术领域。其中心盘上安装有承片台和轴,轴通过轴承和旋转盘相连,轴固定在座体上,旋转盘通过机械传动装置和电机相连;中心盘上至少设有3个条形辐射状孔,各条形辐射状孔和旋转盘间均设有曲柄拉钩机构,每个曲柄拉钩机构的一端均和旋转盘相绞联,另一端通过其上绞联的定位滑块和条形辐射状孔滑动配合。本发明解决了传统晶片中心定位装置控制难度大、结构复杂的技术问题,具有结构简单紧凑、运行平稳、可靠性强、使用方便的特点。特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备上。
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