Invention Publication
CN101885468A 一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜及其制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜及其制备方法
- Patent Title (English): Medium/metal/medium nanostructure membrane and preparation method thereof
-
Application No.: CN201010215670.7Application Date: 2010-06-30
-
Publication No.: CN101885468APublication Date: 2010-11-17
- Inventor: 邱东江
- Applicant: 浙江大学
- Applicant Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Assignee: 浙江大学
- Current Assignee: 浙江大学
- Current Assignee Address: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
- Agency: 杭州天勤知识产权代理有限公司
- Agent 胡红娟
- Main IPC: B82B1/00
- IPC: B82B1/00 ; B82B3/00 ; B32B9/04 ; B32B15/04
Abstract:
本发明公开了一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜,包括:衬底和衬底上依次排列的第一介质层、金属层和第二介质层;所述衬底为单晶硅片、单晶蓝宝石片或石英玻璃片;所述的第一介质层和第二介质层同时为氧化铟层或氧化锌层,厚度为20~100nm;所述的金属层为银层、金层或铝层,厚度为5~40nm;上述纳米结构薄膜既可以采用电子束蒸发法制备,也可以采用磁控溅射法和热蒸发法相结合的方法制备。本发明的介质/金属/介质型纳米结构薄膜,较之于相同介质层厚度的金属/介质型双层结构薄膜,发光增强因子高、使用寿命长,具有广阔的开发前景。
Public/Granted literature
- CN101885468B 一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜及其制备方法 Public/Granted day:2013-01-30
Information query