一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜,包括:衬底和衬底上依次排列的第一介质层、金属层和第二介质层;所述衬底为单晶硅片、单晶蓝宝石片或石英玻璃片;所述的第一介质层和第二介质层同时为氧化铟层或氧化锌层,厚度为20~100nm;所述的金属层为银层、金层或铝层,厚度为5~40nm;上述纳米结构薄膜既可以采用电子束蒸发法制备,也可以采用磁控溅射法和热蒸发法相结合的方法制备。本发明的介质/金属/介质型纳米结构薄膜,较之于相同介质层厚度的金属/介质型双层结构薄膜,发光增强因子高、使用寿命长,具有广阔的开发前景。
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