本发明公开了一种介质/金属/介质型纳米结构薄膜，包括：衬底和衬底上依次排列的第一介质层、金属层和第二介质层；所述衬底为单晶硅片、单晶蓝宝石片或石英玻璃片；所述的第一介质层和第二介质层同时为氧化铟层或氧化锌层，厚度为20～100nm；所述的金属层为银层、金层或铝层，厚度为5～40nm；上述纳米结构薄膜既可以采用电子束蒸发法制备，也可以采用磁控溅射法和热蒸发法相结合的方法制备。本发明的介质/金属/介质型纳米结构薄膜，较之于相同介质层厚度的金属/介质型双层结构薄膜，发光增强因子高、使用寿命长，具有广阔的开发前景。