发明授权
- 专利标题: 一种选择式射极太阳能电池的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing selective emitter solar cell
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申请号: CN200910142350.0申请日: 2009-06-01
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公开(公告)号: CN101901851B公开(公告)日: 2012-03-28
- 发明人: 王政烈 , 吴月花
- 申请人: 和舰科技(苏州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
- 专利权人: 和舰科技(苏州)有限公司
- 当前专利权人: 和舰芯片制造(苏州)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
- 代理机构: 北京连和连知识产权代理有限公司
- 代理商 郑光
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0224 ; H01L31/0232
摘要:
本发明提出一种选择式射极太阳能电池的制造方法,包括以下步骤:步骤1:在P型导电基板上通过涂布含有N形杂质的浆料进行热扩散或直接通过气相扩散以形成N型扩散层;步骤2:在形成有N型扩散层的P型导电基板上形成图案状的电极;步骤3:在形成有电极的P型导电基板上植入P型杂质,使得在覆盖有电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度高于没有覆盖电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度。本发明在电极下方形成高浓度扩散层,有效降低接触电阻;其他透光区域形成较低浓度的扩散层,抑制表面再结合,从而提高太阳能电池的转换效率,还省略了氧化膜的生长及随后的清洗步骤,有利于降低生产成本。
公开/授权文献
- CN101901851A 一种选择式射极太阳能电池的制造方法 公开/授权日:2010-12-01
IPC分类: