一种选择式射极太阳能电池的制造方法
摘要:
本发明提出一种选择式射极太阳能电池的制造方法,包括以下步骤:步骤1:在P型导电基板上通过涂布含有N形杂质的浆料进行热扩散或直接通过气相扩散以形成N型扩散层;步骤2:在形成有N型扩散层的P型导电基板上形成图案状的电极;步骤3:在形成有电极的P型导电基板上植入P型杂质,使得在覆盖有电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度高于没有覆盖电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度。本发明在电极下方形成高浓度扩散层,有效降低接触电阻;其他透光区域形成较低浓度的扩散层,抑制表面再结合,从而提高太阳能电池的转换效率,还省略了氧化膜的生长及随后的清洗步骤,有利于降低生产成本。
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