本发明公开了一种空心微针阵列芯片，包括衬底和空心微针，所述空心微针包括针头和针杆，所述空心微针通过所述针杆固定在所述衬底上并向所述衬底倾斜设定角度；所述针头具有椭圆环形平面且其一端为针尖，所述椭圆环形平面其中一部分嵌入所述衬底内；所述针杆为嵌入在衬底内或穿透衬底的空心圆管，其底部与所述衬底下表面平齐或者凸出或者凹入；所述空心微针将衬底两侧穿通形成通孔型微针或在针杆底部被封闭而形成盲孔型微针。本发明的空心微针阵列芯片结构坚固、针尖锋利、便于穿刺，成本低、成品率高，适合于批量制造。阵列中的微针一致性好，使用时无痛感、不见血，使用后微创的皮肤会迅速自愈，安全可靠。