集成电路结构
摘要:
本发明揭示一种集成电路结构,包括:一芯片,包括一基底;以及一电源分配网络。电源分配网络包括:多个电源硅通孔电极,穿过基底,其中电源硅通孔电极构成一栅网;以及多个金属线,位于一底层金属化层(M1)中,其中金属线将电源硅通孔电极耦接至位于基底上的集成电路装置。本发明的优点包括了降低芯片面积使用、降低电源布线所造成信号布线的阻碍、以及降低电源电压降(IR drop)。
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