压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法
摘要:
一种微机电技术领域的压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法,装置包括:上悬臂、下悬臂、质量块和固定装置,其中:质量块位于下悬臂上的一端,固定装置固定在下悬臂上的另一端,上悬臂设置在质量块和固定装置上且与下悬臂对称,质量块与固定装置分别和上悬臂固连,固定装置与质量块间的距离为L;所述的上悬臂包括:第一支撑层、第一下电极层、第一上电极层和第一PZT层,所述的下悬臂包括:第二支撑层、第二下电极层、第二上电极层和第二PTZ层,所述的支撑层包括:第一SiO2层、Si层和第二SiO2层。本发明提高了机电转换能力,能够从机械振动中采集获得更多的电能,且制备方法可控,提高了器件生产的成功率。
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