发明公开
CN101944860A 压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法
- 专利标题(英): Piezoelectric cantilever vibration energy harvester and preparation method thereof
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申请号: CN201010278397.2申请日: 2010-09-11
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公开(公告)号: CN101944860A公开(公告)日: 2011-01-12
- 发明人: 李以贵 , 邓勇 , 孙健 , 白万青 , 杨春生 , 刘景全
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海交达专利事务所
- 代理商 王锡麟; 王桂忠
- 主分类号: H02N2/18
- IPC分类号: H02N2/18 ; B81B3/00 ; B81C1/00
摘要:
一种微机电技术领域的压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法,装置包括:上悬臂、下悬臂、质量块和固定装置,其中:质量块位于下悬臂上的一端,固定装置固定在下悬臂上的另一端,上悬臂设置在质量块和固定装置上且与下悬臂对称,质量块与固定装置分别和上悬臂固连,固定装置与质量块间的距离为L;所述的上悬臂包括:第一支撑层、第一下电极层、第一上电极层和第一PZT层,所述的下悬臂包括:第二支撑层、第二下电极层、第二上电极层和第二PTZ层,所述的支撑层包括:第一SiO2层、Si层和第二SiO2层。本发明提高了机电转换能力,能够从机械振动中采集获得更多的电能,且制备方法可控,提高了器件生产的成功率。
公开/授权文献
- CN101944860B 压电悬臂梁振动能量采集器及其制备方法 公开/授权日:2012-11-28