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公开(公告)号：CN106358357B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201610895205.X
申请日：2016-10-13
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： H05H1/26
摘要： 本发明提供了一种制备PDMS大气压超细等离子体射流的装置与方法，包括：金属细丝插入PDMS模具内；金属毛细管插入PDMS模具内；金属细丝插入金属毛细管内一段距离，并使得金属细丝、金属毛细管与PDMS模具三者的轴线在一条直线上；当金属细丝与金属毛细管全部插入PDMS模具内后，灌入PDMS；待PDMS固化后拔出金属细丝，并取下PDMS模具；金属毛细管可同时作为高压电极与工作气体流通通道，产生等离子体，并经从金属细丝在PDMS上留下的通道内射向大气，产生大气压超细等离子体射流。本发明可选择不同形状和尺寸的PDMS模具以及不同直径的金属细丝，形成具有不同形状和尺寸的PDMS大气压超细等离子体射流装置。
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公开(公告)号：CN105428488B
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201511004826.6
申请日：2015-12-28
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种基于金丝球焊法的光刺激神经电极器件及其制备方法，包括：一、制作图形化底层聚酰亚胺绝缘层并开方形孔；二、制作中间电路层；三、制作图形化顶层聚酰亚胺绝缘层，在相同位置开方形孔和圆形孔；四、将微型LED裸芯片放置在两层聚酰亚胺方形孔内，在微型LED裸芯片四周涂抹瞬干胶；五、金丝球焊法连接微型LED裸芯片与金电路层；六、涂抹环氧树脂胶实现封装；七、腐蚀牺牲层，完成电极释放。本发明极主要目的是为微型LED裸芯片供电，LED发光对特定基因转染的实验动物进行光刺激；工艺简单，LED布置灵活，可根据不同刺激区域制备不同样式的器件，为植入式医疗设备开发和神经科学研究提供了一种新型工具。
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公开(公告)号：CN104936370B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201510333396.6
申请日：2015-06-16
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： H05H1/24
摘要： 本发明提供了一种大气压低温等离子体射流阵列可调装置，其中：单个等离子体发生器与螺柱套管通过胶结固定；螺柱套管与箱体之间螺纹连接，且螺纹连接处用密封硅脂进行润滑和密封；箱体上端通入工作气体，并通过过滤丝网均匀流入等离子体发生器中；旋拧螺柱套管可以调整螺柱套管相对箱体位置进行上下调节，进而可以带动等离子体发生器进行上下调节；通过旋拧圈数和螺距可以计算出调节距离；通过对单个等离子体发生器的上下位置调节可以实现等离子体射流阵列的多种组合调节，且适用于现有的线性阵列和环形阵列的不同阵列形式。本发明可根据实际要求调节等离子体发生器的上下位置，提高等离子体射流阵列的应用灵活性和加工准确性。
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公开(公告)号：CN106544655A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610895204.5
申请日：2016-10-13
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供了一种聚酰亚胺表面图形化导电银薄膜的制备方法，所述方法包括：先将聚酰亚胺薄膜利用强碱进行活化处理；再利用硝酸银溶液进行离子交换制备出表面束缚银离子的聚酰亚胺薄膜；然后利用等离子体射流进行选择性还原处理制备出图形化的银纳米粒子图层；再经过化学镀银方法得到聚酰亚胺表面图形化的导电银薄膜。本发明能够在二维与三维聚酰亚胺表面兼顾快速，低成本且高选择性的优势制备出具有高导电性的银薄膜。本发明在柔性电子、MEMS等领域有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN106404236A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610712097.8
申请日：2016-08-23
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01L1/16
摘要： 本发明公开了一种基于PVDF的微针型压电微力传感器及其制备方法，包括上电极层、下电极层、玻璃微针尖端、压电层；所述上、下电极层为导电层；所述压电层为聚偏氟乙烯PVDF及其二元、多元聚合物材料；所述玻璃微针尖端为微力传感器的基底；制备时，通过激光加热玻璃毛细管拉制形成玻璃微针尖端，通过溅射、旋涂或蒸发工艺在玻璃微针尖端上制作下电极层，采用刮涂、旋涂或静电纺丝工艺制备PVDF及其二元、多元聚合物材料薄膜层，再通过溅射、旋涂或蒸发工艺在覆有PVDF压电层的玻璃微针尖端上制作上电极层。本发明具有结构简单、加工工艺实现容易、体积小、灵敏度高等优点，特别适用于微气流以及微流体所引起的微力的检测。
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公开(公告)号：CN106358357A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610895205.X
申请日：2016-10-13
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： H05H1/26
CPC分类号： H05H1/26
摘要： 本发明提供了一种制备PDMS大气压超细等离子体射流的装置与方法，包括：金属细丝插入PDMS模具内；金属毛细管插入PDMS模具内；金属细丝插入金属毛细管内一段距离，并使得金属细丝、金属毛细管与PDMS模具三者的轴线在一条直线上；当金属细丝与金属毛细管全部插入PDMS模具内后，灌入PDMS；待PDMS固化后拔出金属细丝，并取下PDMS模具；金属毛细管可同时作为高压电极与工作气体流通通道，产生等离子体，并经从金属细丝在PDMS上留下的通道内射向大气，产生大气压超细等离子体射流。本发明可选择不同形状和尺寸的PDMS模具以及不同直径的金属细丝，形成具有不同形状和尺寸的PDMS大气压超细等离子体射流装置。
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公开(公告)号：CN106197774A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610575051.6
申请日：2016-07-20
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01L1/18
CPC分类号： G01L1/18
摘要： 本发明提供一种柔性压阻式触觉传感器阵列及其制备方法，所述传感器阵列包括N*N个相互分离的压阻层和共面电极层，压阻层设置在共面电极层上；每个压阻层包括上层指压层、中层敏感层和底层敏感层，三层均带有微金字塔；共面电极层包括聚合物电极基底和位于聚合物电极基底上的N*N个金电极对。本发明压阻层采用带有微金字塔的聚合物薄膜，三层结构使得传感器能够在低压区域的灵敏度大大增加。另外，为了避免传统触觉传感器的三明治结构串扰大的缺点，采用共面电极层，所有电极处于同一平面，每一个电极对上都贴和相应的压阻层，每个压阻单元完全分开，有效提高传感器的灵敏度以及抗干扰的能力。
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公开(公告)号：CN105169554A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510582927.5
申请日：2015-09-14
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法，包括：在基底上沉积一层聚对二甲苯薄膜；利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成图形化的金属薄层，旋涂光刻胶并露出所有焊点孔，通过反应离子刻蚀刻蚀掉焊点孔下方的聚对二甲苯；在焊盘端每一个环形金属焊点上利用光刻形成环形聚酰亚胺，并露出环形金属焊点孔周围的局部金区域；在环形聚酰亚胺上方利用溅射、光刻和离子束刻蚀工艺形成环形金属薄层；通过电镀金属工艺实现环形聚酰亚胺上、下环形金层的连接；沉积一层聚对二甲苯薄膜用来封装，通过反应离子刻蚀暴露出环形金属导电窗口，再从基底上释放包括焊盘在内的整个电极。本发明保证了电极的透明性、低渗透性和生物相容性。
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公开(公告)号：CN102697590B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201210145497.7
申请日：2012-05-10
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： A61F5/00
摘要： 本发明公开一种十二指肠套管及其制备方法，所述十二指肠套管包括由镍钛诺构成的锚定部分和一个具有微纳尺度抗粘结构的套管。所述套管制备方法：第一步、制备具有微纳尺度结构的套管模具；第二步、在模具表面化学气相沉积一层聚合物薄膜套管；第三步、将薄膜套管从模具上取下。本发明使得现在的套管能更好的应用于病态肥胖的治疗中。本发明加工微小结构工艺过程简单易操作。采用生物相容性聚合物作为微小结构材料，生物相容性好，同时有足够的物理化学稳定性，不易被氧化或腐蚀，因此，可以直接应用于生物医学领域。
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