- 专利标题: MEMS谐振器结构以及结合所述谐振器结构使用的方法
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申请号: CN200880127024.6申请日: 2008-11-26
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公开(公告)号: CN101946400B公开(公告)日: 2014-10-01
- 发明人: M·卢茨 , 潘志宇 , A·帕特里奇
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈松涛; 夏青
- 优先权: 12/002,936 2007.12.18 US
- 国际申请: PCT/US2008/084946 2008.11.26
- 国际公布: WO2009/079188 EN 2009.06.25
- 进入国家日期: 2010-08-18
- 主分类号: H03H3/007
- IPC分类号: H03H3/007 ; H03H9/02 ; B81B3/00
摘要:
本发明提供一种微机电谐振器,所述微机电谐振器可以包括以体模式振动并且包括分别具有密度的第一多个区域以及分别具有密度的第二多个区域的一个或者多个谐振器块,所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同。可以将所述第二多个区域设置成非均匀结构。所述振动可以包括第一状态,在所述第一状态下,所述谐振器块至少部分沿第一和/或第二方向收缩,并且至少部分沿第三和/或第四方向膨胀,所述第二方向与所述第一方向相反,所述第四方向与所述第三方向相反。
公开/授权文献
- CN101946400A MEMS谐振器结构以及结合所述谐振器结构使用的方法 公开/授权日:2011-01-12