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一种微机械空间光调制器
Abstract:
本发明公开了一种微机械空间光调制器,属于微光机电系统技术及光通信技术领域。该光调制器包括一个周期可调光栅和一个微扭转镜,所述的周期可调光栅从上到下依次包括光栅器件层6和光栅绝缘层5;所述的微扭转镜从上到下依次包括微扭转镜器件层3、微扭转镜绝缘层2和微扭转镜基底层1;周期可调光栅与微扭转镜通过光栅绝缘层5和微扭转镜器件层3键合为一体;本发明的有益效果是:将微扭转镜和周期可调光栅集成于一体,可以同时实现光开关和光衰减器的作用;利用微扭转镜的扭转来实现对多个光通道的选择,从而减少了光路切换的元件数量,提高了光路稳定性和响应速度;在实现光衰减作用时,可以精确地控制光衰减量。
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