Invention Grant
- Patent Title: 一种微机械空间光调制器
- Patent Title (English): Micro-mechanical space optical modulator
-
Application No.: CN201010500828.5Application Date: 2010-09-30
-
Publication No.: CN101963698BPublication Date: 2012-01-18
- Inventor: 李晓莹 , 靳倩 , 孙瑞康 , 乔大勇 , 燕斌
- Applicant: 西北工业大学
- Applicant Address: 陕西省西安市友谊西路127号
- Assignee: 西北工业大学
- Current Assignee: 南通江中光电有限公司,西北工业大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市友谊西路127号
- Agency: 西北工业大学专利中心
- Agent 吕湘连
- Main IPC: G02B26/08
- IPC: G02B26/08 ; G02B26/02
Abstract:
本发明公开了一种微机械空间光调制器,属于微光机电系统技术及光通信技术领域。该光调制器包括一个周期可调光栅和一个微扭转镜,所述的周期可调光栅从上到下依次包括光栅器件层6和光栅绝缘层5;所述的微扭转镜从上到下依次包括微扭转镜器件层3、微扭转镜绝缘层2和微扭转镜基底层1;周期可调光栅与微扭转镜通过光栅绝缘层5和微扭转镜器件层3键合为一体;本发明的有益效果是:将微扭转镜和周期可调光栅集成于一体,可以同时实现光开关和光衰减器的作用;利用微扭转镜的扭转来实现对多个光通道的选择,从而减少了光路切换的元件数量,提高了光路稳定性和响应速度;在实现光衰减作用时,可以精确地控制光衰减量。
Public/Granted literature
- CN101963698A 一种微机械空间光调制器 Public/Granted day:2011-02-02
Information query