发明公开
CN101970715A 在碳纳米管上沉积金属或准金属的方法和系统
失效 - 放弃专利权
- 专利标题: 在碳纳米管上沉积金属或准金属的方法和系统
- 专利标题(英): Method and system for depositing a metal or metalloid on carbon nanotubes
-
申请号: CN200980108790.2申请日: 2009-02-20
-
公开(公告)号: CN101970715A公开(公告)日: 2011-02-09
- 发明人: 瑟奇·博德雷 , 丹尼尔·科查德 , 埃里克·杜蒂尔 , 帕特里斯·盖拉德 , 达米安·沃伊里
- 申请人: 阿克马法国公司
- 申请人地址: 法国科隆布
- 专利权人: 阿克马法国公司
- 当前专利权人: 阿克马法国公司
- 当前专利权人地址: 法国科隆布
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 宋莉
- 优先权: 0851581 2008.03.11 FR
- 国际申请: PCT/FR2009/050274 2009.02.20
- 国际公布: WO2009/112738 FR 2009.09.17
- 进入国家日期: 2010-09-13
- 主分类号: C23C16/18
- IPC分类号: C23C16/18 ; C23C16/24 ; C23C16/32 ; C23C16/44
摘要:
本发明涉及用于在碳纳米管(CNT)上沉积金属或准金属的方法和系统。本发明的方法包括将CNT粉末在反应器中均化,并且由包含所述金属或准金属的烷基化物前体使用在所述反应器内实施的化学气相沉积技术在均化的CNT粉末上沉积所述金属或准金属。所述方法可用于通过在CNT上沉积Si而在所述CNT的表面制造纳米结构的SiC。
IPC分类: