公开(公告)号：CN101970715A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980108790.2

申请日：2009-02-20

申请人： 阿克马法国公司

发明人： 瑟奇·博德雷 ,  丹尼尔·科查德 ,  埃里克·杜蒂尔 ,  帕特里斯·盖拉德 ,  达米安·沃伊里

IPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/24 ,  C23C16/32 ,  C23C16/44

CPC分类号： C23C16/442 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/168 ,  C23C16/18 ,  C23C16/24 ,  C23C16/325 ,  C23C16/4417

摘要： 本发明涉及用于在碳纳米管(CNT)上沉积金属或准金属的方法和系统。本发明的方法包括将CNT粉末在反应器中均化，并且由包含所述金属或准金属的烷基化物前体使用在所述反应器内实施的化学气相沉积技术在均化的CNT粉末上沉积所述金属或准金属。所述方法可用于通过在CNT上沉积Si而在所述CNT的表面制造纳米结构的SiC。