高频三极管型场致发射器件及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种三极管型场致发射器件(11),具体用于高频应用,具有阴极电极(12)、与阴极电极(12)隔开的阳极电极(14)、设置在阳极电极(14)和阴极电极(12)之间的控制栅电极(13)、以及至少一个场致发射尖端(19);阴极电极(12)、控制栅电极(13)和阳极电极(14)在三极管区(11a)中的场致发射尖端(19)处重叠并用于与场致发射尖端共同作用,以在三极管区中产生电子束。在三极管区(11a)外部,阴极电极(12)、控制栅电极(13)和阳极电极(14)不重叠,并具有沿着各条线(x,y,z)的主延伸方向;各条线(x,y,z)中的每一条相对于其余线中的每一条以非零角度倾斜。
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