本发明的实施例(1)的第一密封部件(21A)，具有双层构造的波纹状的波纹管(22)、在波纹管(22)的外侧以覆盖波纹管(22)的一部分的方式设置的振动调整装置，在波纹管(22)的一部分设置不成形为波纹状的平面部(23)，且所述振动调整装置由在平面部(23)的外侧表面的周方向上设置，并且在周方向上具有多个孔的环形状的肋(25)、和插入在肋(25)的外壁上设置的孔的配重(26)构成。通过调整配重(26)的数量，来调整固有振动频率，防止第一密封部件(21A)的固有振动频率和转子的旋转频率的共振。