具有低的热漂移的微机电z轴探测结构
摘要:
本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构,包括:具有顶表面的衬底,其上至少设置有第一固定电极装置;传感块,在平面(xy)内延伸,并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处;以及连接弹性元件,其支撑所述传感块,使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转,根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括:耦合块,悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接;以及锚固装置。
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