发明授权
- 专利标题: 具有低的热漂移的微机电z轴探测结构
- 专利标题(英): Microelectromechanical z-axis detection structure with low thermal drifts
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申请号: CN201010288878.1申请日: 2010-08-02
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公开(公告)号: CN101987718B公开(公告)日: 2015-03-11
- 发明人: G·卡扎尼加 , L·科罗纳托 , B·希莫尼
- 申请人: 意法半导体股份有限公司
- 申请人地址: 意大利阿格拉布里安扎
- 专利权人: 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人: 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址: 意大利阿格拉布里安扎
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 王茂华; 唐文静
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00 ; G01P15/125
摘要:
本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构,包括:具有顶表面的衬底,其上至少设置有第一固定电极装置;传感块,在平面(xy)内延伸,并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处;以及连接弹性元件,其支撑所述传感块,使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转,根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括:耦合块,悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接;以及锚固装置。
公开/授权文献
- CN101987718A 具有低的热漂移的微机电z轴探测结构 公开/授权日:2011-03-23