发明公开
CN101990708A 薄片粘贴装置及粘贴方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 薄片粘贴装置及粘贴方法
- 专利标题(英): Apparatus and method for attaching sheet
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申请号: CN200980112849.5申请日: 2009-03-16
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公开(公告)号: CN101990708A公开(公告)日: 2011-03-23
- 发明人: 野中英明 , 小林贤治
- 申请人: 琳得科株式会社
- 申请人地址: 日本国东京都
- 专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国东京都
- 代理机构: 上海金盛协力知识产权代理有限公司
- 代理商 段迎春
- 优先权: 2008-100347 2008.04.08 JP
- 国际申请: PCT/JP2009/055011 2009.03.16
- 国际公布: WO2009/125649 JA 2009.10.15
- 进入国家日期: 2010-10-08
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683
摘要:
一种薄片粘贴装置(10),其构成包括:支承在多处具有被粘接面(WS)的被粘接体W的工作台(13);往面对被粘接面(WS)的位置供给临时粘接有第二剥离片(RL2)的双面粘接片(A)的供给机构(11);将上述双面粘接片(A)粘贴到各被粘接面(WS)上的粘贴单元(12);将粘贴到各被粘接面(WS)上的双面粘接片(A),按照被粘接面WS的大小进行切断的机械手(15);将由上述切断操作而在各被粘接面(WS)的外侧产生的多余粘接片(S1)回收的回收机构(19)。供给单元(11)、粘贴单元(12)和回收机构(19)还具备将残留在各被粘接面(WS)上的第二剥离片(RL2)除去的功能。