Invention Publication
CN102007298A 涡轮分子泵
失效 - 权利终止
- Patent Title: 涡轮分子泵
- Patent Title (English): Turbomolecular pump
-
Application No.: CN200880128619.3Application Date: 2008-02-15
-
Publication No.: CN102007298APublication Date: 2011-04-06
- Inventor: 大石耕太
- Applicant: 株式会社岛津制作所
- Applicant Address: 日本京都府
- Assignee: 株式会社岛津制作所
- Current Assignee: 株式会社岛津制作所
- Current Assignee Address: 日本京都府
- Agency: 北京三友知识产权代理有限公司
- Agent 党晓林; 王小东
- International Application: PCT/JP2008/052540 2008.02.15
- International Announcement: WO2009/101699 JA 2009.08.20
- Date entered country: 2010-10-13
- Main IPC: F04D19/04
- IPC: F04D19/04

Abstract:
一种涡轮分子泵具有交替地布置有转子和定子的多个节段。每个转子均具有从旋转体呈放射状地延伸的叶片。每个定子均具有朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片。设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转形状,通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片角。叶片角的表达式包括第一表达式,该第一表达式为在叶片的预定半径的外侧的每个叶片提供最佳角度,叶片角的表达式还包括第二表达式,该第二表达式提供在预定半径内侧抑制气体分子反流的叶片角。
Public/Granted literature
- CN102007298B 涡轮分子泵 Public/Granted day:2014-04-30
Information query