公开(公告)号：CN102209851B

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN200980145099.1

申请日：2009-10-05

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 大石耕太

IPC分类号： F04D19/04

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/324 ,  F04D29/542 ,  F04D29/544

摘要： 本发明提供一种涡轮分子泵，对于旋转叶轮(4B)的动叶轮叶片及固定叶轮(2B)的静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，将第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，对于在旋转轴方向上相邻的叶轮层，设置至少一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。其结果，与基于二维的叶轮截面模型进行叶轮设计的现有涡轮分子泵相比，能够提高排气性能、特别是大流量区域的排气性能。

公开(公告)号：CN102209851A

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN200980145099.1

申请日：2009-10-05

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 大石耕太

IPC分类号： F04D19/04

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/324 ,  F04D29/542 ,  F04D29/544

摘要： 本发明提供一种涡轮分子泵，对于旋转叶轮(4B)的动叶轮叶片及固定叶轮(2B)的静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，将第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，对于在旋转轴方向上相邻的叶轮层，设置至少一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。其结果，与基于二维的叶轮截面模型进行叶轮设计的现有涡轮分子泵相比，能够提高排气性能、特别是大流量区域的排气性能。

公开(公告)号：CN102007298B

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN200880128619.3

申请日：2008-02-15

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 大石耕太

IPC分类号： F04D19/04

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/324 ,  F04D29/327 ,  F05D2250/70

摘要： 一种涡轮分子泵具有交替地布置有转子和定子的多个节段。每个转子均具有从旋转体呈放射状地延伸的叶片。每个定子均具有朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片。设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转形状，通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片角。叶片角的表达式包括第一表达式，该第一表达式为在叶片的预定半径的外侧的每个叶片提供最佳角度，叶片角的表达式还包括第二表达式，该第二表达式提供在预定半径内侧抑制气体分子反流的叶片角。

公开(公告)号：CN102007298A

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200880128619.3

申请日：2008-02-15

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 大石耕太

IPC分类号： F04D19/04

CPC分类号： F04D19/042 ,  F04D29/324 ,  F04D29/327 ,  F05D2250/70

摘要： 一种涡轮分子泵具有交替地布置有转子和定子的多个节段。每个转子均具有从旋转体呈放射状地延伸的叶片。每个定子均具有朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片。设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转形状，通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片角。叶片角的表达式包括第一表达式，该第一表达式为在叶片的预定半径的外侧的每个叶片提供最佳角度，叶片角的表达式还包括第二表达式，该第二表达式提供在预定半径内侧抑制气体分子反流的叶片角。