发明授权
- 专利标题: 涡轮分子泵
- 专利标题(英): Turbomolecular pump
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申请号: CN200880128619.3申请日: 2008-02-15
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公开(公告)号: CN102007298B公开(公告)日: 2014-04-30
- 发明人: 大石耕太
- 申请人: 株式会社岛津制作所
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人: 株式会社岛津制作所
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 党晓林; 王小东
- 国际申请: PCT/JP2008/052540 2008.02.15
- 国际公布: WO2009/101699 JA 2009.08.20
- 进入国家日期: 2010-10-13
- 主分类号: F04D19/04
- IPC分类号: F04D19/04
摘要:
一种涡轮分子泵具有交替地布置有转子和定子的多个节段。每个转子均具有从旋转体呈放射状地延伸的叶片。每个定子均具有朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片。设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转形状,通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片角。叶片角的表达式包括第一表达式,该第一表达式为在叶片的预定半径的外侧的每个叶片提供最佳角度,叶片角的表达式还包括第二表达式,该第二表达式提供在预定半径内侧抑制气体分子反流的叶片角。
公开/授权文献
- CN102007298A 涡轮分子泵 公开/授权日:2011-04-06