涡轮分子泵
摘要:
一种涡轮分子泵具有交替地布置有转子和定子的多个节段。每个转子均具有从旋转体呈放射状地延伸的叶片。每个定子均具有朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片。设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转形状,通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片角。叶片角的表达式包括第一表达式,该第一表达式为在叶片的预定半径的外侧的每个叶片提供最佳角度,叶片角的表达式还包括第二表达式,该第二表达式提供在预定半径内侧抑制气体分子反流的叶片角。
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