发明授权
CN102021515B 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
- 专利标题(英): Glass coated target material and preparation method thereof
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申请号: CN200910187392.6申请日: 2009-09-16
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公开(公告)号: CN102021515B公开(公告)日: 2012-07-25
- 发明人: 徐娜 , 常新春 , 侯万良 , 张甲 , 张春智 , 张凤军 , 王建强 , 全明秀
- 申请人: 中国科学院金属研究所
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
- 专利权人: 中国科学院金属研究所
- 当前专利权人: 中国科学院金属研究所
- 当前专利权人地址: 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
- 代理机构: 沈阳科苑专利商标代理有限公司
- 代理商 张志伟
- 主分类号: C23C14/18
- IPC分类号: C23C14/18 ; C23C14/34 ; C03C17/245 ; C23C4/04
摘要:
本发明涉及玻璃镀膜靶材制备领域,具体为一种玻璃镀膜靶材及其制备方法,解决磁控溅射玻璃镀膜靶材制备问题。该玻璃镀膜靶材采用的原材料为SiAl粉末,由纯Si粉和纯Al粉机械混合制得,混合粉末中各组元质量百分比及粒度为:Si粉85-95wt%,粒度45-125μm;Al粉5-15wt%,粒度30-100μm。该玻璃镀膜靶材采用常压等离子喷涂技术制备,制备工艺参数为:电流400-500A,电压45-58V,送粉量40-60g/min,送粉气流量5.0-7.0L/min,主气流量41-43L/min,主气压力0.45-0.55MPa,次气流量1.6-2.8L/min,次气压力0.25-0.35MPa,喷涂距离100-150mm,喷涂角度75-90°。采用本发明制备的溅射阴极靶材可适用于镀膜玻璃的生产,具有重要的工业应用价值。
公开/授权文献
- CN102021515A 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法 公开/授权日:2011-04-20
IPC分类: