一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
摘要:
本发明涉及玻璃镀膜靶材制备领域,具体为一种玻璃镀膜靶材及其制备方法,解决磁控溅射玻璃镀膜靶材制备问题。该玻璃镀膜靶材采用的原材料为SiAl粉末,由纯Si粉和纯Al粉机械混合制得,混合粉末中各组元质量百分比及粒度为:Si粉85-95wt%,粒度45-125μm;Al粉5-15wt%,粒度30-100μm。该玻璃镀膜靶材采用常压等离子喷涂技术制备,制备工艺参数为:电流400-500A,电压45-58V,送粉量40-60g/min,送粉气流量5.0-7.0L/min,主气流量41-43L/min,主气压力0.45-0.55MPa,次气流量1.6-2.8L/min,次气压力0.25-0.35MPa,喷涂距离100-150mm,喷涂角度75-90°。采用本发明制备的溅射阴极靶材可适用于镀膜玻璃的生产,具有重要的工业应用价值。
公开/授权文献
0/0