发明公开
CN102023047A 高温蓝宝石称重传感器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 高温蓝宝石称重传感器
- 专利标题(英): High-temperature sapphire weighing sensor
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申请号: CN201010500183.5申请日: 2010-09-30
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公开(公告)号: CN102023047A公开(公告)日: 2011-04-20
- 发明人: 盖广洪 , 黎明诚 , 戚龙 , 杨静
- 申请人: 中国航天科技集团公司第四研究院第四十四研究所
- 申请人地址: 陕西省西安市灞桥区洪庆镇田王街特字1号
- 专利权人: 中国航天科技集团公司第四研究院第四十四研究所
- 当前专利权人: 中国航天科技集团公司第四研究院第四十四研究所
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市灞桥区洪庆镇田王街特字1号
- 代理机构: 西安文盛专利代理有限公司
- 代理商 李中群
- 主分类号: G01G3/14
- IPC分类号: G01G3/14 ; G01G21/00 ; G01G3/18
摘要:
本发明涉及一种能在高温环境下保持长期稳定性工作的高温蓝宝石称重传感器,具有一个外带有电缆接插件的外壳,在外壳内装有一个带应变区表面的铌基合金弹性体和一个与接插件相联接的外接线路板,在弹性体两侧面的应变区中心设有与外接线路板联接的敏感组件,所说的敏感组件自内至外依次由蓝宝石基底、应变电阻层、焊接层和钝化保护层组成,在外接线路板上焊接有用于补偿由于温度变化而引起灵敏度漂移的高温Ni电阻。本发明采用了离子束溅射工艺、离子束刻蚀工艺以及静电封接工艺等先进手段,保证了传感器在高温环境下具有优异的长期稳定性,并且温度零点漂移极小,综合精度高,可精确地测量所承载的重量。
公开/授权文献
- CN102023047B 高温蓝宝石称重传感器及其生产方法 公开/授权日:2012-11-14