发明公开
- 专利标题: 一种半导体芯片的共晶方法及共晶结构
- 专利标题(英): Eutectic method and eutectic structure of semiconductor chip
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申请号: CN201010261581.6申请日: 2010-08-21
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公开(公告)号: CN102024717A公开(公告)日: 2011-04-20
- 发明人: 刘英策 , 火东明 , 孙天宝
- 申请人: 比亚迪股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
- 专利权人: 比亚迪股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳比亚迪微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号
- 主分类号: H01L21/58
- IPC分类号: H01L21/58 ; H01L33/48
摘要:
一种半导体芯片的共晶方法,包括:以基板的一面为承载面形成第一共晶层和以半导体芯片的一面为承载面形成第二共晶层,所述第一共晶层或者第二共晶层为形成有孔结构的共晶层;对第一共晶层和第二共晶层进行共晶连接。本发明还涉及一种半导体芯片的共晶结构,包括半导体芯片、基板,以及位于半导体芯片和基板之间的共晶连接层,其中,所述共晶连接层由第一连接层和有孔结构的第二连接层共晶结合而成。本发明实施例提供的一种半导体芯片的共晶方法及共晶结构,有孔的共晶层和另一共晶层共晶,使二者之间形成更均匀结合力更强的共晶层,进而提高芯片和基板之间的结合力。
公开/授权文献
- CN102024717B 一种半导体芯片的共晶方法及共晶结构 公开/授权日:2012-03-07
IPC分类: