发明授权
- 专利标题： 正型感光性组合物
- 专利标题（英）： Positive-type photosensitive composition
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申请号： CN200980118371.7申请日： 2009-05-13
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公开(公告)号： CN102027414B公开(公告)日： 2013-07-17
- 发明人: 高桥元树 , 绪方寿幸 , 久里州多佛·柯多尼尔 , 仲村亮正 , 志知哲也 , 植松照博
- 申请人： 东京应化工业株式会社 , 东海旅客铁道株式会社
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 东京应化工业株式会社,东海旅客铁道株式会社
- 当前专利权人： 东京应化工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 广州三环专利代理有限公司
- 代理商 郝传鑫; 倪小敏
- 优先权： 2008-126793 2008.05.14 JP
- 国际申请： PCT/JP2009/058937 2009.05.13
- 国际公布： WO2009/139421 JA 2009.11.19
- 进入国家日期： 2010-11-15
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/022 ; H01B5/14
摘要：
本发明提供能够形成高析像度且有机物残渣影响小的金属化合物薄膜图案的正型感光性组合物。该正型感光性组合物含有通过涂布后的煅烧处理能够形成金属化合物薄膜的金属络合物成分(A)以及感光剂(B)，(A)成分的配体优选为以芳香族化合物为骨架的多齿配体。通过具有该组成，即使实质上不含有感光性树脂的组合物体系，也能够赋予感光性，能够容易地形成金属化合物薄膜图案。
公开/授权文献
- CN102027414A 正型感光性组合物 公开/授权日：2011-04-20
IPC分类:
