Invention Grant
CN102044406B 检测样品的处理方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 检测样品的处理方法
- Patent Title (English): Processing method of detecting samples
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Application No.: CN200910197363.8Application Date: 2009-10-19
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Publication No.: CN102044406BPublication Date: 2012-10-03
- Inventor: 陈强 , 郭志蓉
- Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市张江路18号
- Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市张江路18号
- Agency: 上海思微知识产权代理事务所
- Agent 屈蘅; 李时云
- Main IPC: H01L21/00
- IPC: H01L21/00 ; H01L21/66 ; C08L1/12
Abstract:
本发明提供了一种检测样品的处理方法，该处理方法包括如下步骤：提供检测样品；在所述检测样品表面覆盖有机薄膜。该处理方法简单实用，成本低，可有效的避免检测样品与空气中的氧气接触而发生氧化反应，确保检测样品的品质。
Public/Granted literature
- CN102044406A 检测样品的处理方法 Public/Granted day:2011-05-04
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IPC分类:
