发明授权
- 专利标题： 清洁装置
- 专利标题（英）： Cleaning device
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申请号： CN200980121881.X申请日： 2009-06-12
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公开(公告)号： CN102057469B公开(公告)日： 2013-03-27
- 发明人: 柳东英
- 申请人： 株式会社STS
- 申请人地址： 韩国京畿道
- 专利权人： 株式会社STS
- 当前专利权人： 株式会社STS
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道
- 代理机构： 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 张敬强; 武也平
- 优先权： 10-2008-0055096 2008.06.12 KR
- 国际申请： PCT/KR2009/003177 2009.06.12
- 国际公布： WO2009/151303 KO 2009.12.17
- 进入国家日期： 2010-12-10
- 主分类号： H01L21/304
- IPC分类号： H01L21/304
摘要：
本发明提供一种用于清洁混合蒸发器的清洁装置。所述混合蒸发器包括原料在其中流动通过的第一孔、载气在其中流动通过的第二孔、通过混合所述原料和所述载气产生混合气体的混合空间、被连接到所述第二孔用于将所述载气供应到所述混合空间的载气喷嘴以及排放所述混合气体的第三孔。所述清洁装置通过使得清洁溶液循环通过所述第一孔、所述第二孔和所述第三孔中的至少一个来清洁所述混合蒸发器。
公开/授权文献
- CN102057469A 清洁装置 公开/授权日：2011-05-11
IPC分类:
