发明公开
CN102061453A 复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法
- 专利标题(英): Hot-filament chemical vapor deposition batch preparation method of complicated-shape diamond coated cutting tool
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申请号: CN201110028846.2申请日: 2011-01-27
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公开(公告)号: CN102061453A公开(公告)日: 2011-05-18
- 发明人: 孙方宏 , 张文骅 , 张志明 , 沈荷生 , 郭松寿
- 申请人: 上海交通大学 , 上海交友钻石涂层有限公司
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学,上海交友钻石涂层有限公司
- 当前专利权人: 上海交通大学,上海交友钻石涂层有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海交达专利事务所
- 代理商 王锡麟; 王桂忠
- 主分类号: C23C16/27
- IPC分类号: C23C16/27 ; C23C16/44 ; C23C16/458
摘要:
一种机械加工技术领域的金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法,通过将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座,将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上;采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同,下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部,通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。本发明能够有效降低刀刃处衬底表面温度,但不降低沉积速率,同时又能提高金刚石涂层质量。
公开/授权文献
- CN102061453B 复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法 公开/授权日:2012-11-21
IPC分类: