一种梯度金刚石/二硫化钼复合自润滑减磨工程陶瓷涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN118561623A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410611497.4

    申请日:2024-05-16

    摘要: 一种梯度金刚石/二硫化钼复合自润滑减磨工程陶瓷涂层及其制备方法,属于全陶瓷自润滑耐磨涂层技术领域,涂层由工程陶瓷基底表面向外依次为多级尺寸递进金刚石涂层和二硫化钼涂层;在每级尺寸递进金刚石涂层中包括微米金刚石涂层、细晶粒金刚石涂层和纳米金刚石涂层,金刚石涂层上面沉积二硫化钼涂层;沉积金刚石涂层采用热丝化学气相沉积法制备,覆盖金刚石涂层的二硫化钼薄膜采用直流磁控溅射法制备,在一定条件下,复合涂层中的二硫化钼会和纳米金刚石反应并转化成洋葱状碳,提高复合涂层硬度和润滑性能,减少摩擦和磨损;采用这个方法制备的复合涂层结合力和附着力更加稳固,提高机械的使用寿命。

    一种无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN113652668B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202110899100.2

    申请日:2021-08-05

    IPC分类号: C23C16/27 C23C16/02

    摘要: 本发明提供一种无酸碱预处理的硬质合金基体金刚石涂层制备方法,包括如下步骤:使用金刚石微粉与砂纸相配合对硬质合金基体表面进行打磨,将处理好的基体进行超声清洗;采用湿法分散颗粒的方法将颗粒均匀的分散在基体表面放入干燥箱中进行干燥;采用热丝化学气相沉积法沉积金刚石涂层,依次经过金刚石形核和生长阶段,得到无酸碱预处理的硬质合金涂层。与现有的技术相比较,本发明的操作过程对于硬质合金造成的损伤比较小,同时获得的涂层质量与经过预处理的涂层效果相近。添加的颗粒提高金刚石涂层的沉积速率,提高了涂层的附着力和抗裂性。

    一种在GaN晶圆上沉积高质量纳米金刚石钝化层的方法

    公开(公告)号:CN118448278A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410480537.6

    申请日:2024-04-19

    摘要: 本发明提供一种在GaN晶圆上沉积高质量纳米金刚石钝化层的方法,涉及半导体技术和电子器件散热领域,包括以下步骤:在硅基GaN晶圆上进行氮化铝沉积、氮化硅沉积得到载有氮化硅牺牲层‑氮化铝层的硅基GaN晶圆;浸入改性金刚石形核液中经匀胶后进行微波等离子体化学气相沉积,通过梯度甲烷工艺,在吸附有金刚石种子层的氮化硅牺牲层表面进行金刚石沉积,形成纳米金刚石钝化层,得到依次载有纳米金刚石钝化层‑氮化铝层硅基GaN晶圆。本发明的方法通过双介质层调控结构界面热阻,并提高金刚石形核密度而沉积出平整光滑的致密纳米金刚石钝化层,制备的产品界面热阻低。

    一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法

    公开(公告)号:CN116334597B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202310308224.8

    申请日:2023-03-28

    摘要: 本发明提供了一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法,属于微波系统领域。上述系统包括机架及上述反应腔组件,反应腔组件的内腔中设置有隔离板,通过隔离板上设置有多孔陶瓷对腔体中的粉尘进行吸附,从而降低反应腔中的粉尘含量;进而能够确保反应腔中的反应能够正常进行。而上述控制方法主用于控制上述MPCVD系统,其主要是对上述MPCVD系统进行智能控制,从而能够实现自动切换可用气流通道;并及时提示工作人员更换不可用多孔陶瓷;进而保证整个系统的正常运行,提高了整体的工作效率。