本发明提供一种高刚性还具有耐热性的适合于真空环境内的真空机器人的手臂结构。具体为，具备：手臂基座，在内部具有气密空间；手臂驱动用马达，设置在手臂基座内；第1减速器，由通过手臂驱动用马达旋转的中空减速器轴、及输入减速器轴的旋转并仅以规定比减速并在减速器轴周围旋转的第1减速器输出轴构成，设置为减速器轴的下端露出在手臂基座内；第1手臂，通过使中空减速器轴的上端进入而具有与手臂基座的气密空间相同压力的气密空间，且固定于第1减速器输出轴；第2减速器，设置在第1手臂的前端，输入轴与减速器轴连接；第2手臂，固定在第2减速器的输出轴上，在内部不具有气密空间；及连杆机构，跟随第1手臂和第2手臂。