发明授权
- 专利标题: 一种在晶片减薄过程中保护金属层的方法
- 专利标题(英): Method for protecting metal layer in process of thinning wafer
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申请号: CN200910241296.5申请日: 2009-11-27
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公开(公告)号: CN102082070B公开(公告)日: 2012-07-11
- 发明人: 马万里
- 申请人: 北大方正集团有限公司 , 深圳方正微电子有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- 专利权人: 北大方正集团有限公司,深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人: 深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 郭润湘
- 主分类号: H01L21/00
- IPC分类号: H01L21/00 ; H01L21/302
摘要:
本发明公开了一种在晶片减薄过程中保护金属层的方法,以解决现有技术中,在晶片减薄过程中,撕掉保护膜时容易将晶片的金属层一起撕掉的问题。该方法包括:在晶片的金属层表面涂光刻胶层,对所述金属层进行去边胶处理,去边胶宽度大于压边宽度;对去边胶处理后的所述金属层进行曝光处理和显影处理后,将去边胶区域的金属层中的部分金属层刻蚀掉,形成保护槽,刻蚀掉的部分金属层为去边胶区域与压边区域不重叠的部分金属层。采用本发明技术方案,可在很大程度上降低金属层在晶片减薄过程中被撕掉的几率。
公开/授权文献
- CN102082070A 一种在晶片减薄过程中保护金属层的方法 公开/授权日:2011-06-01
IPC分类: