一种在晶片减薄过程中保护金属层的方法
摘要:
本发明公开了一种在晶片减薄过程中保护金属层的方法,以解决现有技术中,在晶片减薄过程中,撕掉保护膜时容易将晶片的金属层一起撕掉的问题。该方法包括:在晶片的金属层表面涂光刻胶层,对所述金属层进行去边胶处理,去边胶宽度大于压边宽度;对去边胶处理后的所述金属层进行曝光处理和显影处理后,将去边胶区域的金属层中的部分金属层刻蚀掉,形成保护槽,刻蚀掉的部分金属层为去边胶区域与压边区域不重叠的部分金属层。采用本发明技术方案,可在很大程度上降低金属层在晶片减薄过程中被撕掉的几率。
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