利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN102082556A 压电振动片的制造方法及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟 无效 - 撤回

  • 专利标题： 压电振动片的制造方法及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
  • 专利标题（英）： Method of manufacturing piezoelectric vibrating reed, piezoelectric vibrating reed, piezoelectric vibrator, oscillator, electronic apparatus, and radio-controlled timepiece
  • 申请号： CN201010587497.3
    申请日： 2010-11-30
  • 公开(公告)号： CN102082556A
    公开(公告)日： 2011-06-01
  • 发明人: 河口昌之
  • 申请人： 精工电子有限公司
  • 申请人地址： 日本千叶县千叶市
  • 专利权人： 精工电子有限公司
  • 当前专利权人： 精工电子有限公司
  • 当前专利权人地址： 日本千叶县千叶市
  • 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
  • 代理商 何欣亭; 王忠忠
  • 优先权： 2009-272376 2009.11.30 JP
  • 主分类号： H03H3/02
  • IPC分类号： H03H3/02 ;  H03H9/21 ;  G04C9/02
压电振动片的制造方法及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
摘要：
本发明提供准确挑选次品并能提高商品的可靠性的压电振动片的制造方法及压电振动片、以及具备压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。具有如下特征：在抗蚀剂图案的形成工序中，以使光掩模(30)与光刻胶膜密合的状态对光刻胶膜进行接触式曝光，从而形成抗蚀剂图案，在抗蚀剂图案的形成工序的前段中包括光掩模加工工序，在光掩模(30)中的与外形图案相当的外形相当区域(33)发现了缺陷时，除去一部分遮光膜图案(35)，变更存在伤痕(K)的外形相当区域(33)的形状。
摘要（英）：

There are provided a method of manufacturing a piezoelectric vibrating reed capable of improving the reliability of a product by sorting out a defective product correctly, a piezoelectric vibrating reed, a piezoelectric vibrator having a piezoelectric vibrating reed, an oscillator, an electronic apparatus, and a radio-controlled timepiece. In a resist pattern forming step, a resist pattern is formed by performing contact exposure on a photoresist film in a state where a photomask 30 is in close contact with the photoresist film. Before the resist pattern forming step, a photomask 30 treatment step is included in which when a defect is found in an outer shape equivalent region equivalent to the outer pattern in the photomask, a part of a light shielding film pattern 35 is removed to change the shape of the outer shape equivalent region 33 where damage K is present.

0/0